Motor läuft unrund | MAZDA 3

Moin, ich hatte mein Mazda 3 bei ATU für Einstellungen der Scheinwerfer gehabt. Als ich das Auto dann abgeholt habe, war die Motorkontrolleuchte und die ESP Leuchte an. Der Motor springt beim ersten Start kurz an und geht wieder aus. Beim 2 Start bleib er an, aber läuft sehr unrund und die Kontrolleuchten bleiben an. Ich habe das Fahrzeug auch ausgelesen, Fehler P0102 Luftmassen Messer. Habe diesen dann gestauscht, immer noch das selbe. Auf Undichtigkeiten bei der Ansaugung hab ich auch geschaut, aber nix festgestellt wo er Falschluft ziehen könnte. Hat jemand ne Idee was es noch sein könnte ? Da die ESP und Motorkontrolleuchte an sind und er hat definitiv ein zu mageres Gemisch, dass merkt man ja. Bei den Fehler in OBD sagt er Fehler P0102 Luftmassen Messer ungenügende Werte ungefähr dtc Messung abgrochen. Vielen Dank im Voraus.